陶瓷产品

pBN 加热器和静电卡盘

用于高温半导体加工

pBN 加热器和卡盘 (ESC)

pBN/PG 加热器可在 1700°C 或更高温度下运行，在超高真空中具有极佳的热均匀性 (晶圆为 2°C)。作为非脆性耐火材料，其超高纯度得益于高温化学气相沉积生产方法，这种方法使其对大多数腐蚀性气体和液体具有化学惰性，能抵抗大多数熔融金属的侵蚀。 Momentive Technologies 甚至可以根据您的高温（高达1000°C）晶圆处理需求定制加热器卡盘 (ESC)。

在高温条件下处理晶片是一项挑战。热解氮化硼静电吸盘（pBN ESC）可在超过 1000°C 的温度下吸附晶片，是市场上用途最广的 ESC。由于采用了高密度、多区加热元件，晶片可以保持在非常严格的温度范围内。 pBN ESC 的高抗热震性意味着，即使在温度急剧变化的情况下，它的机械性能也很稳定。

Momentive 技术公司的热解氮化硼静电卡盘可在 0 至 1000°C 的最宽温度范围内提供超快速 J-R 卡盘夹持。
我们的加热器所选用的材料具有抗热震性和极低的热质量，使升温速率达到 100°C/min
pBN 是一种全致密材料，可用于超高真空环境

关键特性

功率密度超过 50^瓦/平方厘米
夹持力高达^100g/cm2
最大直径 Ø320 毫米（12.6 英寸
高密度加热元件的表面覆盖率高达 95
高度定制的多区加热和电调功能可实现最高温度控制

标准功能

Momentive Technologies pBN ESC 模块可用于处理最复杂的控制方案。多区加热、多区卡盘、背面气体、聚焦环和网格只是我们能为您的定制设计集成的部分功能。

Momentive Technologies pBN 加热器和 ESC 具有同类产品中最佳的温度均匀性。这种 ESC 是通过独特的多步 CVD 工艺制造的。这种工艺可实现高加热元件密度和复杂的元件布局，以适应您独特的环境。

制造与支持

高密度加热元件带来出色的热均匀性
模块可根据客户的具体要求进行定制
我们的应用开发工程师团队将热建模和流体建模相结合，确保我们的模块具有最高性能，并与客户合作，精确匹配他们的环境。

内部能力

测试能力
模拟
设计

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