陶瓷产品
热平衡导热坯
通过提高热均匀性提高半导体制程产量
热平衡导电坯料提高了温度均匀性，从而提高了晶圆加工应用中的产量，加快了温度稳定速度，并提高了产量。
Momentive Technologies 采用集成TPG®的全无源解决方案，还可实现更简单的设计和更耐腐蚀的材料。
典型应用包括 CVD、ALD 或 PVD 等高温薄膜加工。
验证概念
- 两台 8 英寸单区不锈钢加热器采用相同的加热器模式；一台集成了 TPG®，另一台采用标准不锈钢配置。
- 直接比较显示，TPG® 加热器表面热均匀性提高了 2 倍多。
- 根据计算机建模预测，12 英寸不锈钢加热器（单区和双区设计）的改进程度也类似。
- 消除了方位角变化（以图像中紫色和红色方框位置为例）。
单区加热器（无TPG®）
@1.65 千瓦
| 最大值 | 599°C |
| ΔT | 64°C |
| ΔT / Tmax | +/- 5.2% |
| 标准差/平均值 | 2.2% |
相同的加热器设计（带TPG®）
@1.65kW
| 最大值 | 589°C |
| ΔT | 39°C |
| ΔT / Tmax | +/- 3.5% |
| 标准差/平均值 | 1.0% |
采用TPG®技术，被动地改善热均匀性
- 热裂解石墨 (TPG®) 封装在金属坯料中，使加热和冷却应用更加均匀。
- TPG®材料的特性非常适合于整个表面的热平衡（面内导热系数约为 1700 W/mK，面外导热系数约为 10 W/mK）。
易于集成到现有加热器设计中；可灵活用于其他热均匀性和传输应用
- 可对导电坯料的上表面（气体通道、网格、提升销）和下表面（加热或冷却通道）进行加工、焊接和钎焊。
- 导电坯料增强了所有加热器设计的热均匀性，并与单区和多区加热器兼容。
- 提供铝和奥氏体不锈钢解决方案。
- 冷板或冷却应用也可获得热均匀性优势。
内部热机械计算机建模支持设计优化
- 计算机模型与制造的加热器原型进行了验证。
- 该模型可用于估算新设计的预期热均匀性改进。
- 相邻的数字显示，在比较带TPG® 和不带 TPG® 的 12 英寸双区不锈钢加热器时，模型预测的热均匀性估计提高了 2 倍。
