坩埚产品
石英玻璃坩埚
用于制造单晶硅
用于制造半导体设备材料单晶硅的石英玻璃坩埚条件苛刻，因为它与半导体设备的原材料直接接触。 我们的坩埚具有相当高的纯度和耐用性。 如果长期使用，它还具有不会让气孔膨胀的出色特性。
关键特性
- 可根据客户尺寸、纯度、气泡含量和涂层进行定制，以满足特定客户的需求
- 全球区域的销售办事处确保及时响应和周到的本地支持。
- 提供从 14 到 36 英寸不同直径的石英坩埚，以满足宽泛的热场设计。
主要用户
- 世界领先的硅晶片制造商
产品牌号
| 牌号 | 描述 |
|---|---|
|
530-595 |
天然砂级 – MT Germany、MT China |
|
541 |
合成二氧化硅内表面 – MT Germany |
|
T240 |
合成二氧化硅内表面 – MT Yamagata |
坩埚示意图
标准尺寸
| 尺寸 | OD | W1 | W2 | W3 | R1 | R2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
14″ |
363 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
381 |
90 |
|
16″ |
404 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
406 |
90 |
|
18″ |
457 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
457 |
90 |
|
20″ |
507 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
507 |
100 |
|
22″ |
556 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
558 |
110 |
|
24″ |
607 ± 3 |
12 ± 3 |
15 ± 3 |
12 ± 3 |
610 |
120 |
|
28″ |
708 ± 4 |
13 ± 4 |
15 ± 4 |
13 ± 4 |
708 |
140 |
|
32″ |
809 ± 4 |
14 ± 5 |
23 ± 5 |
15 ± 5 |
810 |
160 |
|
36″ |
909 ± 5 |
17 ± 4 |
28 ± 5 |
17 ± 4 |
910 |
180 |
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